根據客戶需求，果果儀器為儀綜所定制光纖耦合的真空探針臺。定制異形加熱臺芯，適配微型器件，提供探針組件，可以進行光電測試。

*溫度范圍：-120~50℃

*溫度穩(wěn)定性：±0.1℃

*溫控性能：可高溫保持4h以上，具備溫度循環(huán)功能，可程序設定恒溫保持溫度和時間，可程序設定升降溫速率，腔體內溫度隨時間變化數據可導出

*載樣臺：異形半包裹，對光線探測器進行冷熱控制

*光纖連接：定制適配單模硅基光纖的KF真空饋通，通過臺體的2個KF16真空接頭連接至光線探測器

*腔室：真空腔室，＜0.1kPa

*探針：提供固定式探針 x4，磁吸式移動探針 x4，滿足電學測試需求

↑光線探測器和光線連接

↑定制KF16光纖饋通